一種用于壓力傳感器的溫度控制系統(tǒng)設(shè)計
2011/7/9 17:06:00
在微電子器件領(lǐng)域 ,針對 SiC 器件的研究較多 ,已經(jīng)取得了較大進(jìn)展 ,而在 MEMS 領(lǐng)域針對 SiC 器件的研究仍有許多問題亟待解決。在國內(nèi) , SiC MEMS 的研究非常少 ,因而進(jìn)行 SiC 高溫 MEMS 壓力傳感器的研究具有開創(chuàng)意義。
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